№ 1
Аннотации журнала «Приборы» № 1, 2017 год
 
АННОТАЦИИ
С.А. Гамкрелидзе, В.С. Кондратенко, В.В. Стыран, А.А. Трофимов, Н.В. Щаврук (e-mail: vsk1950@mail.ru)
Влияние методов резки приборных пластин сапфира и карбида кремния на технико-эксплуатационные параметры монолитных интегральных схем

Статья посвящена разработке и оптимизации технологических маршрутов, повышающих эффективность использования существующих методов резки приборных пластин с изготовленными на них СВЧ МИС на кристаллы, основанных на применении дисков с алмазной режущей кромкой и лазерного управляемого термораскалывания (ЛУТ). Приводятся результаты экспериментальных исследований влияния резки приборных пластин сапфира и карбида кремния на параметры МИС по разработанным технологическим маршрутам.

Ключевые слова: лазерное управляемое термораскалывание (ЛУТ), монолитные интегральные схемы (МИС), сапфир, карбид кремния.
В.В. Клюев, В.И. Матвеев, Б.В. Артемьев (e-mail: boris@artemiev.su)
ХИМИЯ-2016

Обзорно-аналитическая статья информирует о выставке «ХИМИЯ-2016», которая прошла в выставочном комплексе «Экспоцентр» 19-22 сентября 2016 г. в Москве (Россия). В экспозиции выставки было представлено множество видов высокотехнологичного оборудования, спектрометров и аналитических технологий на их основе. Обзор оборудования, представленного на стендах участников мероприятия, проводится по функциональным группам. Деловая программа состояла из нескольких семинаров известных компаний и прошла одновременно с выставкой.

Ключевые слова: рентгеновский спектрометр, ИК-Фурье спектрометр, расходомеры и уровнемеры, неразрушающий контроль.
Вернуться